離子體是繼固态、液态、氣态之後的物質第四态，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，産生包括電子、各種離子、原子和自由基在内的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀态，所以稱爲低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間内發生分解，並發生後續的各種反應以達到降解污染物的目的。

　　等離子體反應區富含極高的物質，如高能電子、離子、自由基和激發态分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間内發生分解，並發生後續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢産生的低溫等離子技術相比較，等離子體技術放電量是電暈放電的50倍，放電密度是電暈放電的130倍。所以,傳統低溫等離子體技術隻能用於室内空氣異味治理,與其他低溫等離子體技術相比較，等離子體技術是唯一用於工業化工藝廢氣治理的技術。
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